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Trabalhos acadêmicos
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UTILIZAÇÃO DOS FEIXES DE ÍONS FOCALIZADOS DE GÁLIO E HÉLIO PARA DESENHOS LITOGRÁFICOS DE PADRÕES METROLÓGICOS EM AMOSTRA DE SILÍCIO
Matheus Costa Ximenes, Jose Brant de Campos
2019 Artigo acadêmico
Palavras-chaves: Cobef, Cobef 2019, mecatrônica, automação, indústria 4.0, metrologia, nanotecnologia, nanometrologia, nanopadronagem, microscopia de feixe de hélio, pulverização catódica,
