Trabalhos acadêmicos - CIMM

UTILIZAÇÃO DOS FEIXES DE ÍONS FOCALIZADOS DE GÁLIO E HÉLIO PARA DESENHOS LITOGRÁFICOS DE PADRÕES METROLÓGICOS EM AMOSTRA DE SILÍCIO

Matheus Costa Ximenes, Jose Brant de Campos

2019 Artigo acadêmico

Palavras-chaves: Cobef, Cobef 2019, mecatrônica, automação, indústria 4.0, metrologia, nanotecnologia, nanometrologia, nanopadronagem, microscopia de feixe de hélio, pulverização catódica,